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  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "氧化石墨烯".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="複合式拋光液"


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    氧化石墨烯複合式拋光液於單晶碳化矽晶圓化學機械拋光之研究
    • 機械工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 黃裕程 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶碳化矽晶圓(SiC)為一高崩潰電壓及低阻抗的材料,因此在高功率元件市場上有較大之需求,然而因單晶碳化矽晶圓之高硬度、高抗化學性等性質,使其在製造過程有加工時間繁長及成本高等問題。本研究主要針對單…
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    氧化石墨烯複合式拋光液於單晶碳化矽晶圓之化學機械拋光製程分析研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 林妤靜 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶碳化矽晶圓(Silicon Carbide, SiC)在高功率元件裡相較於單晶單化矽(Silicon)具有高崩潰電壓高寬能隙、高崩潰電壓及高熱傳導率,然而單晶碳化矽具有高硬度(Mohs 9.2)…
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